第128章 光刻机

虽然已经是老夫老妻，赵婷还是有点不习惯在刘姨面前太过亲热。反观刘姨好似看不到一样，该干什么干什么。

赵婷专门开了一瓶菊花白，给三人都满上。

“祝你尽快研究出成果”，赵婷举杯送上了祝福，三人轻轻碰杯，都是一饮而尽。

续上第二杯酒，赵婷又举了起来。

“祝我们国建走出迷雾，国富民强”。

“一定会的，而且会让你大吃一惊”，李国成举杯回应，三人又是干杯。

“第三杯酒我来说吧”，刘姨抢着说道：“祝你们恩恩爱爱，多子多福”。

赵婷和李国成相视一笑，默契尽在酒中。

他们二人商量过，30岁前暂时不要孩子。趁着年轻，要为国家多做一些贡献。

李国成被身边的人感染，现在也是热血青年一枚，有时候他自己都觉得不可思议。

一夜好梦。

3天后，李国成从分隔实验室里安静地走了出来，面无表情，三人已经起身准备飞奔了，看到李国成身后没有动静后，就又停了下来，定定地看着他。

走的他们身边，李国成轻轻说了一句话：“成了”。

“什么？”

“伱说什么？”

“什么成立？”

三个人激动地向李国成求证，他们等这么一天已经很久了，就是做梦都想着这一天。

“光刻胶和刻蚀剂”，李国成停顿了一些，然后用坚定的语气说道：“成了”。

“万岁！”

“我的天啊！”

。。。。。。。

三人边喊，边和李国成抱在了一起。不知道是谁先留下的眼泪，其他两人很快也跟着留下了热泪。

李国成眼眶也是红红的，拼命克制着自己眼泪。

大家热闹了一会，李国成开口说道：“我说，你们记录”。

三人赶快回到自己的工位，拿起笔记本，等待记录。

接下来，李国成叙述今天的各种配比和实验特征，并重点指出了最佳配比。

“张芷静，周晓娟，你们按照我说的配比，尽快完成重复实验”。

这些验证工作，三人已经驾轻就熟，最近半个月，他们每天都在验证配比，验证稳定性。李国成在休息的时候，常常系统性地给他们讲解化学和物理知识，他们感觉到自己学识蹭蹭地提升。

这让三人更加尊重李国成。不是师徒，胜似师徒。

现在的二女早就没有了之前的感情怨念，现在闫解放和赵芷静好似有点感觉，周晓娟也找到对象，是一名供销社正式工，据说年底就成亲。

李国成单独把闫解放叫到一边，询问紫光投射的情况。

“李哥，按照您说的方法，现在的紫光平行照射腌模然后收缩腌模图形的实验已经非常稳定”。

“太好了，带我过去看看”。

在实验室的另一个角落，看到一个黑铁皮的单向罩子里，罩子里面是近似半圆的银光反射涂层，一个汞灯安装在罩子里面，用来产生平行紫光。

中间是李国成雕刻的腌模板，下面是由三个凸透镜组成的透镜组，最下面是一面黑色的木板。

闫解放自信地打开汞灯开关，这时一束紫光投射在黑色木板上，上面泛出来点点荧光，一副缩小的图形出现在木板上，线条非常清晰。

李国成大喜过望，用力拍了拍闫解放的肩膀。扫描完三维立体图，拆下灯罩，在念力的加持下，对里面的反光层进行手工抛光。

然后对凸透镜又进行了精密抛光。重新安装完成，打开念力，满满调整焦距，直到投射到木板上面那个的图形线条清晰度最高，才记下了尺寸。

李国成亲自动手，使用曙光II型机床，用了两天时间完成了第一代光刻机的制造和安装。分上下两部分，上面时紫光产生模块和掩模板安装架，下面时底座，可以安装晶圆，晶圆安装大小可调。

上面部分在外壳上采用镂刻手法，雕刻了一条威武霸气的神龙，龙口就是紫光的投射口。一只龙爪做成腌模板的安装座。

紫光部分可以在底座上平面移动，移动精度超过了0.01mm，主要是轧钢厂的最高测量精度就是0.01mm。

整个光刻机虽然简陋，却是可以满足现在工业化生产的要求。李国成相信，这是现在全世界最先进，最漂亮的光刻机。

使用风机对光刻机进行了彻底清理，李国成和闫解放拿着它来到了新建成的无尘车间。通过更衣，吹风等环节，进入车间里面。

把光刻机固定到专门留出的工作台，上电重新检查和调整后，离开了车间。

此时的无尘车间被隔离成三个空间，分别称呼为晶圆制备间、光刻间和后期车间。他们之间用大块的双层玻璃隔离。大小分别是200平，300平和500平。

晶圆制备间里安装着真空提拉炉、切片机和研磨机。光刻间安装有真空氧化炉、真空扩散炉、光刻机和刻蚀机。

刻蚀机由三个抗腐蚀腔体组成，前面两个腔体用于刻蚀晶圆，后面一个存放清洗液。说是刻蚀机，其实全程人工操作。把晶圆从一个液体箱拿到另一个液体箱。

所有真空炉只有主体在车间里，其他部分放置在无尘车间外边的一个设备间，他们之间装有玻璃窗，通过这个窗口无尘车间里的工人可以指挥设备间的工人启停各个真空炉。

后期车间主要完成芯片的切割、光学检查、封装和测试。排列着四排工作台，总共可以容纳50人同时工作，靠墙是收纳柜。

三个车间所有设备几乎都是李国成亲自参与，最少都是亲手装配。所有车间灯火通明，非常空旷，工人操作时谁都不会影响谁。

现在是万事俱备只欠东风了，而东风正在验证中，验证通过还需要具备工业化生产的条件。

一周后，所有验证工作结束，也调配出足够的光刻胶和刻蚀剂。

新的一天，早上8：30，此时的无尘车间里站着几人，李怀德、吴连奎、王工、易师傅、张头、张芷静、周晓娟、闫解放、唐大年、王大勇和那三名不配拥有名字的七级钳工。

李国成正在光刻间里面作最后的调试。大家都站在玻璃前，没有一人愿意坐下，都目不转睛地盯着李国成操作。

半个小时后，李国成转身向大家打了一个ok的手势，一些人虽然不知道具体意思，但是都能够理解，设备一切正常。

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