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四合院之跌宕人生

作者:行道人 | 分类: | 字数:107.2万

第228章 晶圆突破3英寸

书名:四合院之跌宕人生 作者:行道人 字数:2404 更新时间:2025-02-12 01:56:33

在何雨柱的絮叨下,时间到了午夜。

把500响鞭炮放了,扛起何雨柱送回了后院。

年后,去给许教授拜完年,这个年算是过完。

接下来的日子,他也懒得溜达,大部分时间待在家里。

这个阶段,他为了缩小COMS的体积,使用了各种方法。最后不得不考虑采用CVD技术。

就是所谓的气相沉积技术,目前可实现的主要方法就是使用热反应炉。

这些在技能书里也有应用。

但只是提了几句,里面重点讲解低压、激光、微波CVD技术。

这些技术的底层技术还没有发展起来,不具备可实现性。

倒是低压CVD技术未来几年可以考虑。

这在制备高质量、低缺陷的薄膜制备技术上运用较多。

目前普通的热反应炉也够用了,为了提高纯度,可以考虑氢气炉。

想到这些,他不得不低下头,设计这些基础设备。

这就像是技术套娃,从最低级的技术开始,慢慢往上叠,直到做到极致。

直到开学,李元一直在修改他的氢气反应炉。

新学期开始,李元先去找到许教授,在他的安排下,找到了班主任老师岑松岭老师。

他插班到导6班,全班加上他42人。

李元的到来,引起的全班同学的欢迎。

这可是整个学校典型学生代表。

不说他艺术家的名头,就他那非人的学习能力,就让同学们嫉妒不起来。

所以,作为插班生,李元没有遇到什么融入的困境。

大家都愿意帮助他,尤其是班长任民同学,把前三个学期的书本和笔记都借给了他。

有了这些资料,李元边学习新学期的课程,边自学之前的课程。

只用三个月,这些全都学习完成。

同时,他每天都会抽出时间到半导体实验室学习。

带着光环和许教授的亲自指点,他很快便融入了实验室。

实验室名义领头人是许教授,实质上,主抓管理的是他的学生龚黎明。

龚师兄35岁,精力充沛,1英寸单晶硅就是他负责拉制的。

现在主要有两个方向,一个是晶圆制备,另一个就是制备晶体管。

说实话,他们现在的方法是粗放式的,在一片晶圆上,直接进行金属物沉积。

就是在硅片两侧对中地烧制上两个含金球,形成两个PN结,组成的晶体管。

也就是现在大家熟知的三极管。

李元选择加入了单晶硅的制备组,组长是一位女中豪杰,28岁的黄燕。

单晶硅组总共有5人,现在变成了6人。

除了组长,都是大老爷们,非常符合工科院系的特点。

里面最高科技的东西就是定制的单晶炉,为直拉式单晶炉,是当前世界上主流的制备设备。

唯一可惜的就是干锅面积太小,晶液也少,提拉手柄全靠操作员的手感。

稍不注意,就可能会拉断。

而且采用的不是旋转拉法,而是最为原始的直接上提法。

所以晶圆柱直径一直无法取得突破,整体粗细不均。

晶圆的直径大小,直接影响着半导体生产的成本、产能和良品率。

越是靠近晶圆的边缘,良品率越差,这是大家的共识。

但他现在只是一个插班生,虽然技能里有相应的提升工艺。

但是他现在还没有资格提出改进意见。

他现在主要的工作就是疯狂的学习。

要从理论上让实验室的老师、同学认可,到那个时候,他的提议才有可能被采纳。

他每天埋头苦学,在实验室帮忙打下手。

时间来到了6月份。

此时,李元动手能力得到了实验室集体的认可。

目前他已经可以在黄燕的指导下,提拉单晶硅。

相比于实验室其他人,他提拉出的单晶硅最为均匀。

可见他手感和掌控力有多么的强。

现在,他就像是一个工具人,实验室其他人想到了改进的思路,他就帮着验证。

好在皇天不负有心人,终于在6月中旬,单晶硅的直径被他拉到了1.5英寸。

虽然进步好似不大,但是相对于从无到有的实验室,这就是一个非常大的跨越。

毕竟当前全世界的晶圆直径普遍是这个水平,最厉害也就2英寸。

这一天,大家在讨论新工艺的时候,李元突然冒出一句话。

“黄老师,我一直有种感觉,如果提拉的时候产生一种旋转的力。

结合硅液表面张力,是否可以加大晶圆的直径?”

一言惊醒梦中人,大家齐齐看向李元,然后都看向黄燕。

“我觉得可以一试”。

“同意”。

“同意”。

。。。。。。

一个半个小时后,大家全都带着激动的心情看着那条单晶柱。

“至少有2.5英寸”,黄燕喃喃自语。

“应该不止”。

。。。。。。

又过去了10分钟,当坩埚里的最后一滴晶液被旋转带起,代表着提拉结束。

当完成冷却,李元小心翼翼地把单晶柱从夹具上取下了。

黄燕兴奋地开始测量。

“最细处78.2mm,主体79.1mm”,黄燕颤抖地报出了测量数据。

“3英寸!”

实验室顿时传出了雷鸣般的欢呼声。

此时放在绒布托盘上的单晶硅像是一块黑曜石,黝黑中泛出一丝红色。

品相非常好。

半个小时后,许教授和龚黎明全都来到实验室。

他们全都带着激动的心情观察的托盘上的单晶硅柱。

“真的没有想到,你们可以在短短的时间内做出如此大的突破。

这已经远远领先于西方发达国家,你们是国家的功臣”。

“许教授,其实能够从1.5英寸突破到3英寸,全都是李元同学的功劳。

就是他的一个点子,让我们完成了突破和超越”。

黄燕一点也没有揽功,直接说出了实情。

其他师生也都点点头。

许教授马上目光转向李元。

“不不不,这不是我一个人的功劳,大家做了这么方案,我都是亲历者。

等于是大家已经把所有错误答案排除了。

我才能想到这个方法,我这是站在巨人的肩膀上做事。

就像是一个人吃饭,不能因为最后一口饭吃饱了,就说全靠最后那一口”。

“哈哈哈,我们的李元同学还是很谦虚的!

站在巨人的肩膀上,非常贴切的比喻。

他说的没错,功劳是属于整个实验室的”。

许教授乾坤独断,一锤定音。

一些师生心中那种不舒服,瞬间消失。

李元把大家比喻成巨人,领导也认可这种说法,那么他们这么久的努力就不白费。

同时,内心中才真正的接纳了李元,把他当作他们其中的一员。

而不是像以往,只把他当作打下手的低年级学生。