184科技桂冠技术难

夏盛麒麟公司是在4118年10月正式成立的一家专攻光刻机和高端芯片的企业，由夏为公司和鸿盛公司抽调精兵强将组建的。

董事长由夏为尹总担当，王守柱和王媛为副董事长，余向东为CE0，张冲志为隐形技术总监。

光刻机的设计已由张冲志借助黑星，并且融合兰斯麦和尼康的技术，优化后设计出来。

芯片生产线也由张冲志结合长岛国、东罗马国、新陆国等最先进的技术，优化改进后设计出来。

其中许多关键设备都由轩辕鸿盛集团制造出来，这条生产线一旦建设完成，将成为世界上最先进的生产线，没有之一，是超越叶积电的存在。

这接近一年的时间里，整个夏盛麒麟公司的所有员工在研究各种材料，不停地试错，争取寻找到一种材料，加工成零部件，装配到光刻机上，使光刻机发挥出设计的功能来。

公司同时研发制造三台光刻机。

现在购买一台兰斯麦超浸润光刻机是1.5亿新元以上，而夏盛麒麟公司的研发费用是它的许多倍。

即使有张冲志的设计和鸿盛集团强悍的零件加工能力，每台研发费用也最少在4亿新元以上。

再加上芯片生产线，夏盛麒麟公司这段时间已吞金200亿玄元以上，外界却没有听到一点响动。

虽然有些视频、报纸不时出个“标题党”，忽悠一下大众，内容全是扑风捉影，引不起什么动静来。

三台光刻机的加工精度当时是2纳米，可是在制作过程中，夏盛公司发现这个难度太大，于是就降低了一下标准，计划先制造生产5纳米芯片的光刻机。

现在各项工作已完成95%，只剩余5%没有完成，但是就这5%才是这光刻机的核心所在，体现了科技制造水平的高低。

就象你将一门大炮全部都造好了，最后发现无法造出大炮发射拴，那这门大炮也就失去了作用。

张冲志进了夏盛公司，换好无尘服直接去了三台光刻机的组装车间，兜里装着黑星。

这个装配车间是在地下，为恒温无尘车间，由于没有最后完成，所以外壳没有按装上，裸露着各种导线和零件。

但没有实验里那样粗糙的工艺，所有的零件看上去乱中有序，当你再仔细观察时，就会有种精美艺术品的感觉。

你会发现所有能利用的空间都被利用起来，每一根细线都在它应该在的位置上，这就是经过优化后的设计，那怕是裸露着，也给人一种美感。

光刻机包含着13个分系统，3万多个机械体，200多个传感器，要想保证光刻机正常运行，每一步的准确率必须达到99.99%以上，尺寸的调整要达到百万次以上。

兰斯麦每年只能生产20台，每一台都被人虎视眈眈的订着。

超浸润光刻机的光源波长为13.5纳米，被称为极紫外光源，经过收集后的功率为250w。

该光源产生的二氧化碳激光，要求必须精准打击到由发射装置发射出每秒高达50万滴的纯锡滴靶上面。

每一滴锡滴靶的直径为30微米，锡滴被蒸发后还不能污染反光镜。

镜头是光刻机的第二难点，由于超浸润极紫外光线太短，除了被空气吸收还会被玻璃吸收，所以采用反光镜。

镜面采用钼和硅制成的特殊膜，镀到反光镜的镜面才有效果，这些镜面凸起幅度不能超过0.3纳米，而镜面的直径是30厘米。

整个镜头采用布拉格反射器，但是每经过一次反射，极紫光的强度就要损失十分之三的能量。

而兰斯麦的光刻机中有11个反光镜，也就是说光源要经过11次反射后才能到达晶圆，在晶圆上刻线，最终仅能剩余2%的光线能量，所以对光源发射功率要求较大。

研发难点第三是掩膜台。掩膜台的作用就是承载掩膜板运动的部件，它的运动是纳米级别的，运动精度在2纳米左右，要用什么样的控制设备才能使掩膜台的运动控制在2纳米以内，这就需要精加工的支持。

现在只有镜头和掩膜台难以达到要求，通过测算良品率太低，难以形成规模性量产，而且只是勉强达到5纳米。

张冲志与各项目组专家一台台看过去，随着他的提问，相关专家介绍该处零都件的生产工艺，所使用到的材料，到最后达到的性能。

其实这三台光刻机都是采用夏盛公司现在所能找到的最好材料和设备制造的，基本就不计成本。

在张冲志的研讨过程中，黑星的十二根探索丝上下飞舞，将每台光刻机的零部件按装置尺寸全扫描下来，并同时形成纳米级的3D立体图，它现在的性能比一年前又强悍了许多，扫描测量尺寸达到1纳米。

张冲志的研讨时间与黑星的扫描时间相配合，三台光刻机用了一个多小时研讨完成，在走向会议室的路上，黑星就将三台光刻机的评估结果给作了出来。

中间那台质量最好，可以支持2纳米芯片的光刻机，其它两台只能达到5纳米的光刻机精度了，看来夏盛公司的装配工艺还有待提高。

最好的方法是采用智能自动化装配，可现在还难以达到。

在会议室中，张冲志又听取了一些各方面专家的意见，大部分人都脸上露出愁容。

光刻机的确是工业上的明珠，集各项最高技术于一身，一项加工技术或材料不到位，就影响到整台光刻机的制造，真是牵一而发动全身。

坐在主位上，与CE0余向东对视了一眼，余向东大声说道：“请大家安静下来，下面请张总监谈一下看法。大家鼓掌！”

下面响起雷鸣般的掌声，张冲志在这些人的心中已有超然的地位。

“各位领导，各位专家好，通过现场查看和与各位的交流，我很佩服大家。

特别是朱宇教授领导的双工作平台研发，在这十个月内竟将掩膜台的移动从1.5纳米，减少到标准的1纳米，这是一个重大的进步，为我们的光刻机加工精度达到2纳米，甚至1纳米打下了坚实的基础。”

说完他带头鼓起掌来，下面也响起雷鸣般的掌声。朱宇教授的脸上也发起光来。

张冲志接着说：“我们现在已经完成了95%以上的工作，这余下的5%我有信心在半月内走完。

另外我根据现场勘查，我想将原来定的目标稍微改动一下，将原来三台光刻机的加工精度都是5纳米，改为中间一台加工精度为2纳米，两边两台保持5纳米。”

他这话一说完，下边应刻“轰”地一下象爆炸了一样。

几乎所有人的脸上都露出难以置信的样子。

自己这些人还在担心5纳米光刻机能不能造出来，他竟然要造2纳米的，这可能吗？

张冲志等下面的人平静了一下，他将手掌压了压，会场恢复了平静，他接着说：“我为什么要将中间这台光刻机改为2纳米，因为它的装配工艺最好，而且使用朱宇教授的1纳米双加工平台，只加工5纳米的芯片太浪费了。

我们现在最大问题，是对于镜头的加工制造，我将带领镜头团队的人在10天内解决，同时，在2纳米反射镜中将采用0.55NA的材料。

我们整个公司自成立以来，各位都在默默地奉献，我们就要做一件轰动世界的大事，我们要让光刻机成为夏盛麒麟公司的骄傲，开创我们轩辕电子工业的新篇章。

但是，今天这次会议事关重大，任何人不得向外泄露一个字，公司会选择适当的时候公布！”

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